三氯氫硅作為生產(chǎn)多晶硅的主要原料，在常溫常壓下具有刺激性氯化氫氣味，易流動(dòng)易揮發(fā)的無色透明液體。三氯氫硅沸點(diǎn)31.5℃，易揮發(fā)、易潮解，遇空氣中微量水分反應(yīng)立即水解，產(chǎn)生氯化氫氣體并生成白色顆粒物，在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn)，遇明火、高熱時(shí)發(fā)生燃燒或爆炸，具有急性毒性。這不僅給取樣帶來很大的困難和危險(xiǎn)而且會(huì)影響分析結(jié)果的準(zhǔn)確性，很難做到精確指導(dǎo)生產(chǎn)，基于這樣的前提下惠斯通研制開發(fā)在線分析氯硅烷組分含量的在 線色譜分析儀。

惠斯通WH609X在線色譜儀能夠在線分析高純?nèi)葰涔柚械亩榷涔璧暮?。使用TCD檢測(cè)器，檢出精度0.01%的二氯二氫硅含量用4-20mA信號(hào)輸出。用氫氣作為載氣（氫氣純度：99.999%，靈敏度高易定量），分析結(jié)果準(zhǔn)確度高、重現(xiàn)線性好。隔爆型防爆設(shè)計(jì)，無需正壓控制，現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)方便。