三氯氫硅作為制造多晶硅的主要原料，其中二氯二氫硅的含量對優(yōu)化工藝十分重要，目前一般都是取樣到實驗室進行分析。實際由于三氯氫硅的化學和物理特性（二氯二氫硅為劇毒、無色、易燃、液化性氣體），使本樣品取樣分析非常危險和困難，而且取樣到實驗室分析對在線生產(chǎn)的指導時間滯后性太大?；菟雇ń?jīng)過現(xiàn)場實地考察，與多晶硅廠家應用專家進行深入交流了解，經(jīng)過兩年多時間設計開發(fā)出可應用于半導體行業(yè)的三氯氫硅在線分析儀二氯二氫硅色譜分析儀WH609X。

WH609X三氯氫硅在線色譜儀，可以做到實時監(jiān)測分析現(xiàn)場二氯二氫硅組份的變化。通過三年不斷的優(yōu)化升級，已經(jīng)達到隔爆，無需大量儀表風吹掃。并可根據(jù)實際情況為客戶定制分析方案，設備。